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浅析净化工程中温湿度的控制情况

发布时间:2023-10-16 点击次数:436

众所周知,在净化工程中非常重要的环节,必须正确控制好温湿度,不光要满足生产的要求,同时也要考虑到人的舒适度的问题,生产制造是离不开人员的控制的,所以一定要管控好净化工程中的温度湿度问题。

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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产合适湿度范围为35—45%。

上述内容是由净化工程厂家-吴江宝信净化整理发布的,吴江市宝信净化设备有限公司专业实行加工、生产、销售一条龙服务,公司主要产品有医用洗手池、器械柜、不锈钢更衣柜、不锈钢鞋柜、称量室、层流罩、净化工程、led平板灯、高效送风口、净化钢质门、称量间、风淋室、除尘器、净化工作台、传递窗、FFU、洁净棚、洗手池、回风窗等一系列净化产品。

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